Der erste Schritt bei der Herstellung von Halbleiter-ICs. Bis der Herstellungsprozess (mit der Auslieferung fertiger Halbleiterbausteine) zu Ende ist, müssen viele Phasen durchlaufen werden, die jede für sich genommen für Qualität und Ausbeute entscheidend sind. Schwächen in einer Phase lassen sich durch Stärken in einer nachfolgenden Phase nicht mehr ausgleichen.