(thin film technology, TFT) Auch: Dünnschichtverfahren. Sammelbegriff für alle Techniken, die das Aufbringen einer extrem dünnen Schicht auf einen Träger zum Ziel haben, z.B. durch Aufdampfen oder Sputtern. Beispiele sind die 20 nm dünne magnetisierbare Dünnschicht auf Festplattenscheiben oder ein Verfahren zur Herstellung meist passiver Bauelemente durch Aufdampfen leitender oder nicht leitender Materialien auf einem Substrat. Die so erzeugten Schichten haben eine Dicke in der Größenordnung von 1 µm. Die Struktur der Schicht wird dabei durch Verwendung von Loch- oder Oxidmasken definiert.